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電容式壓力變送器與擴散矽壓力變送器的區別

點擊次數:2416 發布時間:2021-05-26 02:21:05
壓力變送器根據感壓(yā)膜片(piàn)的不同分為(wéi)電容式、擴散矽(guī)式、單晶(jīng)矽式和(hé)陶瓷式,本文主(zhǔ)要討(tǎo)論電容式和擴散矽式。
 
一、電容式壓力變送器
原理:電(diàn)容式(shì)壓力變送器有一個可變電容的(de)傳感組件,該(gāi)傳感器是一個完全封閉的組件,過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充(chōng)矽油傳到傳(chuán)感膜(mó)片引起位移,傳感(gǎn)膜片和兩電容*板(bǎn)之間的電容(róng)差由電子部件轉換成4-20ma電流信號。
 
簡單的說,壓(yā)力引起電容(róng)的變化。
 
其優點為:可以做(zuò)到*低壓力;抗過載能(néng)力強;精度高。缺點為:高(gāo)壓測量缺乏優(yōu)勢;傳感(gǎn)器封裝工藝要求高。
 
以壓力變送器為例,電容式(shì)如下圖所示:
 
二、擴散矽式壓力變送器(qì)
擴散矽式壓力變送器原理:被測介質的(de)壓力直接作用於傳感器(qì)的擴散矽膜片上,使膜片產生與介質(zhì)壓力成正比的微小(xiǎo)位移。在正常狀態下,膜片*大位移不大於0.025mm,電子線路檢(jiǎn)測這一位移量後,即(jí)把這一位移量(liàng)轉化成4-20ma信號。
 
簡單的說(shuō),壓力(lì)引起電阻的變化。
 
超壓時膜片直(zhí)接貼到堅固的擴散(sàn)矽上,由於膜片和基體(tǐ)的間隙隻有0.1mm,因此過壓時膜片的*大(dà)位移也隻有0.1mm,所(suǒ)以從結構上保(bǎo)證了膜片不會產生過大的變形,該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高精度。
 
其優(yōu)點是:穩定(dìng)性高,每年優於0.1%FS;溫度偏(piān)移(yí)小(xiǎo),由於取消了測量元件中的液體,因此(cǐ)傳感器能夠(gòu)獲得很高的精度;價格便宜。缺點是:低於0℃或高於85℃難以正常使用;不(bú)能承(chéng)受動態壓力;膜片易損壞;不適用20MPa以上的壓力。
 
以壓力變(biàn)送器為例,擴散矽式如下圖所示:

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