淺析薄膜沉澱劑在（zài）高溫蒸汽流（liú）量計中的運用

薄膜在各種不同的應用中正得到廣泛（fàn）使用（yòng）。由於自下而上的製造方（fāng）法的進步和納米材料的利用，在許（xǔ）多行業中已經出現了從塊狀材料到薄膜（mó）的轉變。在本文中，我們（men）著眼於受益於薄膜，高溫蒸汽流量計的應用領域（yù）之一，並探討（tǎo）了為什麽薄膜被用於許多不同類型的高溫蒸汽（qì）流量計中。
為什麽在高（gāo）溫蒸汽流量計中（zhōng）使（shǐ）用薄膜
薄膜是（shì）沉積（jī）的製劑（jì），塗層（céng）或層狀材料，其厚度範圍從（cóng）小於（yú）納米（即原子單層）到幾微米。根據高溫（wēn）蒸汽流量計的（de）類型，可以采用多種方（fāng）法製造（zào）薄膜，這些方法包（bāo）括（kuò）化學氣相沉積（CVD）方法，物理氣相沉積（PVD）方法（例如濺射和分子（zǐ）束外延），原子（zǐ）層沉積（ ALD）以及各種保形和非保形塗層技（jì）術。
薄（báo）膜已在高溫蒸汽流量計技（jì）術中找到了一係列用途，因為薄膜比許多散裝材料對（duì）局部環境的變化更敏感。這些高溫蒸汽流量計（jì）的薄性意味著它們通常（cháng）具有較高的相對（duì）表麵積，比塊狀材料更容易變形，並且膜的電導率（lǜ）和/或電阻率的細微（wēi）變化更加（jiā）明顯。所有（yǒu）這些特性非常適合用於各種類型的傳感任務，例如，更輕鬆地吸收（或解吸）表麵上的（de）分子，用於（yú）撓性高（gāo）溫蒸汽流量計或承受高溫環境。這種多功能（néng）性以及（jí）比薄膜高溫蒸汽流量計可以更小尺寸製（zhì）造的（de）事實，這就是為什麽越來越多地使用薄膜的（de）原因（yīn）。
采用（yòng）薄膜的高溫蒸汽流量計類型（xíng）
薄膜可以由（yóu）多（duō）種材料製成（chéng），包括（kuò）（但不限於）聚合物，納米材料，氧（yǎng）化物絡合物（wù），熱電材料和矽基材料。因此，可以通（tōng）過改變薄膜的成分（以及特性）來定製薄膜以適應廣泛的應用。在這裏，我們來看一些（xiē）受益於薄膜使（shǐ）用的不（bú）同類型的高溫蒸汽流量計。
氣體高溫蒸汽流量計（jì）
薄膜可用（yòng）於確定環境中各種氣態分子和揮發（fā）性有機化合物（VOC）的濃度（dù），包括（kuò）氧氣，二氧化氮，有機胺，氨和乙醇等。薄膜具有高的（de）表麵積，以使氣態分子結合（hé），並且在吸收時，薄膜內的電導率和/或電阻率發生變化。即（jí）使局部（bù）變化很小，該（gāi）變化也是可以測量的，並且吸收（shōu）分子的數量（liàng）相對於電導率/電阻率的變化（即，更大的吸收量等於更大的電變化，反之亦然），這使得這些分子可以集中被推導的氣體。
應變高溫蒸汽流（liú）量計（jì）
薄膜（mó）的薄性使其比（bǐ）大塊材（cái）料（liào）更能（néng）彎曲和拉緊。與散裝材料（liào）相（xiàng）比，它們還更加穩定並且抗斷裂。薄膜可用於測量局部應變，例如在建築行業的某（mǒu）些可穿戴設備或應變儀中。隨著薄膜的變形，變形（xíng）會導致薄膜的電子性能（néng）發（fā）生（shēng）變化，從而可以測量和監控任何應變，應力或異常運動（dòng）。
熱通量高（gāo）溫蒸汽流量計
薄膜已用於（yú）幾種不同類型的熱通量高溫蒸汽流（liú）量計中。即熱電堆型和基於（yú）RTD的熱通量高（gāo）溫蒸汽流量計。在熱電堆型高溫（wēn）蒸汽流量計的情況（kuàng）下（xià），薄膜熱電偶用於（yú）測量具有規定（dìng）厚度的絕緣區域上的溫度差，通過沿溫度監控路徑使用更多的熱電偶（ǒu）對可以實現（xiàn）更高的靈敏度。在基於RTD的高溫蒸汽流量計中，薄膜RTD用於測量絕緣材料定義區域上的溫度差。與熱電堆型薄膜高溫蒸汽流量計相比，基於RTD的薄膜（mó）高溫蒸汽流（liú）量計更易於製造並且具有更大的信號。
濕（shī）度高溫（wēn）蒸汽流量計
以類似於（yú）氣體高溫蒸（zhēng）汽流量計的方式，可以（yǐ）將薄膜用作發送組件，以測量環境的相（xiàng）對濕（shī）度（dù）。由於相對（duì）濕度取決（jué）於大氣中有多少水分子，因此（cǐ）高表麵積（jī）吸收了水分子，這導致了薄膜電導（dǎo）率/電阻率的可測（cè）量且可量化的（de）變化。這使（shǐ）得能夠（gòu）根據水分子的濃度來處理環境的相（xiàng）對（duì）濕度。
腐蝕（shí）高溫蒸汽流量計（jì）
薄（báo）膜也可以用（yòng）在高溫蒸汽流量計（jì）中，該高溫蒸汽流（liú）量計可以測量多個參數以確定塗層是否已經（jīng）退化，即使在早期也（yě）是如此。這些高溫蒸汽流量計可以測量塗層及其周圍環境的溫（wēn）度，濕度，pH和氯化物含量，所有這些都可（kě）以用於確定塗層（céng）開始腐蝕的時間，腐蝕副產物和腐蝕速率。這些高溫蒸汽流量計使用電化學機製，通（tōng）過產生與這些反應的氣態副產物成（chéng）線性比例的電流（liú），來查看塗層上是否發生了氧化或還（hái）原（yuán）。

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